三(二甲氨基)氯硅烷

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• CAS号: 13307-05-6
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• 中文名: 三(二甲氨基)氯硅烷
• 英文名: Tris(dimethylamino)chlorosilane
• 英文别名: Trisdimethylaminochlorosilane; 1-chloro-N,N,N',N',N'',N''-hexamethylsilanetriamine
• 分子式: C₆H₁₈ClN₃Si
• 分子量: 195.7657
• InChI: InChI=1/C6H18ClN3Si/c1-8(2)11(7,9(3)4)10(5)6/h1-6H3
• 密度: 0.996g/cm³
• 沸点: 173.2°C at 760 mmHg
• 闪点: 58.6°C
• EINECS号: 236-331-4
• 蒸汽压: 1.28mmHg at 25°C
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