二氯硅烷

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• CAS号: 4109-96-0
• 中文名: 二氯硅烷
• 英文名: Dichlorosilane
• 英文别名: Silane, dichloro-; Silicon chloride hydride; Dichlorosilane [UN2189] [Poison gas]; UN2189; dichlorosilicon
• 分子式: Cl₂Si
• 分子量: 98.9915
• InChI: InChI=1/Cl2Si/c1-3-2
• 沸点: 8.3°C at 760 mmHg
• 水溶性: decomposes
• EINECS号: 223-888-3
• 蒸汽压: 1360mmHg at 25°C
• 产品用途: 用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅
• 危险性标志:  F+:Highly flammable;  T:Toxic;
• 风险术语: R12:; R14:; R23:; R34:;
• 安全术语: S26:; S36/37/39:; S45:;
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