四氟化碳

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• CAS号: 75-73-0
• 中文名: 四氟化碳
• 中文别名: 四氟甲烷
• 英文名: carbon tetrafluoride
• 英文别名: Tetrafluoromethane
• 分子式: CF₄
• 分子量: 88
• InChI: InChI=1/CF4/c2-1(3,4)5
• 密度: -128
• 沸点: -128℃
• EINECS号: 200-896-5
• 产品用途: 用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂
• 安全术语: S38:;
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